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微纳器件与系统研究室
获得者2人。 目前在读研究生53人,其中博士研究生31人,硕士研究生22人。近十年培养硕士研究生和博士研究生130人,发表国内外学术期刊和会议论文400篇。 (1) 微纳电子机械系统(MEMS
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非硅微纳制造工业和信息化部重点实验室
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微纳光子结构教育部重点实验室
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北京理工大学微纳技术中心
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微纳制造与测量技术教育部工程中心
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四川大学纳光子技术研究所
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微纳电子系统集成研究中心
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江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室
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复旦大学微纳加工与器件公共实验室
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宁波市无机微纳功能材料及应用重点实验室
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